負極材Siはウエーハ屑からリサイクルされることがあり、不純物の分析が重要となっています。電極グレードSi中の不純物成分Al、Fe、Caのスペクトルおよび分析結果を示します。波長分散型蛍光X線法はAl由来の単独ピークが得られるため、微量Al成分が検出可能です。エネルギー分散型蛍光X線法ではSiとのピーク重なりのため、微量のAl成分が検出困難な場合があります。
表. Si負極中の不純物元素の濃度(ppm)
図. WDXでの蛍光X線スペクトル(左) EDXでの蛍光X線スペクトル(右)
