正極材料の組成管理を酸分解等の試料処理なしに、非破壊で簡便に行うことが出来ます。SQX分析（スタンダードレスFP法）で得られたLi(Ni,Co,Al)O2,(NCA)およびLi(Ni,Co,Mn)O2,(NCM) の主成分の組成比を示します。ICPと同程度の結果が得られました。
また波長分散型蛍光X線法(WDX)はピーク分離が良いため、エネルギー分散型蛍光X線法(EDX)では分離困難なNCM中の微量Fe不純物の検出が可能です。
表. Si負極中の不純物元素の濃度(ppm)
図.WDXでの蛍光X線スペクトル
